热门:唯一打破ASML光刻机技术垄断的中国公司

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就半导体设备光刻机来说，大部分人的第一反应可能是世界光刻机的“霸主”asml (阿斯玛)。 这在光刻机设备方面已经形成寡头垄断，在年世界光刻机市场上asml的市场占有率达到了89%。

对此，国内的光刻机制造商非常落后。 在这一点上，因为芯片制造商经常在海外进口设备上投资大量。 例如，去年5月，中心国际从asml以1.2亿美元购买了euv光刻设备。 但注意到根据瓦圣纳协定，asml向中国出口euv需要荷兰政府的出口许可。

为了处理这样的“掐死”问题，来自北京的光刻机制造商打算挑战asml，11月15日，北京证券监督局发表了“北京华卓精科科技股份有限公司”(以下简称“华卓精科”)的第三期指导业务报告，企业

根据企业的官网，其生产的光刻机双工件台打破了asml企业在工件台上的技术垄断，现在基本上在光刻方面实现了不受人约束。

高管的背景是清华系

根据公开资料，华卓精科建立在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专业的支持下。 根据企业官网，其目的是使清华大学在02专业领域积累的高端垄断技术产业化，以“技术辐射&下行”的方法，向国内市场提供产业界的高端部件、子系统类产品。

据《科创板日报》记者介绍，成立后，华卓精科获得了很多融资，其中企业挂新三板期间，企业一共实施了5次定向增发，合计增资总额约1.42亿元。

年11月5日，华卓精科公布了其挂牌期的最后定增情况。 据报告，华卓精科此次发行对象为泥璞集成电路、泥璞玉六号及红星美凯龙(预约金额990万元)，以每股15元的价格发行股票数量505.83万股，募集资金7587.50元，上述资金主要用于企业半导体装备零部件的制造

从年2月13日开始，华卓精科在新三板牌结束。

天眼调查显示，在目前企业的股权结构中，企业董事朱鹮持股比例为37.77%，并通过朱鹮持股平台北京艾西众创科技快速发展中心(有限合作)间接持有企业股份。

朱鹮是工程博士，清华大学教授，从2001年7月到2004年9月在清华大学攻读博士学位后从事，从去年9月开始担任华卓精科理事职务，是华卓精科首席科学家。

根据华卓精科在新三板挂牌期间发表的半年报纸，朱鹮被认定为企业的实际统治者，另外，朱鹮与徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣等7位自然人股东共同签署了“一致行动协议”。

《科创板日报》记者整理发现，徐登峰、张鸣、杨开明也是清华毕业，在企业担任高管，拥有企业股份。

打破肘

据上半年新闻报道，华卓精科实现收入3193万元，比去年同期增加44.53%。 实现归属于上市公司股东的净利润683.67万元，同比下跌10.34%。

比起经营数据，更应该关注企业的主要经营业务。

据华卓精科官网报道，企业的主营产品包括整个高端机械、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特殊制造等方面，其中光刻机双工件台被企业称为核心战术产品。 其他整机设备包括激光退火、硅片层叠、扫描干涉光刻机。 零件包括运动平台、efem、静电卡盘、减震器等。

据《科学创板日报》记者介绍，光刻机是制造集成电路的核心设备，根据semi的统计，全年按全世界晶片制造设备的销售金额比例类推，现在的蚀刻设备、光刻机、薄膜沉积设备分别为晶片制造设备的价值的约24

但是，光刻机长时间被荷兰的asml企业垄断，其生产的最先进的光刻机使用euv光源，可以实现7nm芯片工艺的生产。 根据中银国际发表的研究报告，在年全世界的光刻机市场中，asml市的占有率为89%，年将继续上升。

国内生产光刻机的制造商“寥寥无几”，其中国产光刻机的龙头上海微电子装备(集团)股份有限公司(以下简称“上海微电子”)担负着部分光刻机国产化的重任，有的行业人士在上海马

另外，前面提到过，根据瓦圣纳协定，asml向中国出口euv需要荷兰政府的出口许可，此前中芯国际从asml购买euv光刻设备禁运的“假新闻”试图进口光刻机。

当然，处理我国芯片制造上的“瓶颈”问题，实现光刻机国产化是半导体设备制造商们未来的快速发展方向。

据华卓精科官网报道，其生产的光刻机双工件台主要应用于65nm及以下节点的arf干式、浸渍步进式扫描光刻机、krf步进式扫描光刻机，单体系列产品包括I线、G线步进式扫描光刻机和爸爸

据企业介绍，该光刻机的双工作台打破了asml企业在工作台的技术垄断，成为世界上第二个掌握双工作台核心技术的企业。

这些产品能动摇asml企业的市场吗？ 另外，能否在光刻机的国产化道路上注入“强心剂”，随着后续文件被上海证券交易所受理，相关答案将变得明确，《科学创板日报》记者也将继续关注。

资料来源:科创板日报，记者:吴凡

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原标题:“唯一打破asml光刻机技术垄断的中国公司”