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设备故障是指设备失去或降低其规定功能的事件或现象。表现为设备的某些零件失去原有的精度或性能，使设备不能正常运行、技术性能降低，致使设备中断生产或效率降低而影响生产。真空等离子清洗机的故障可以分为：等离子体相关故障、RF射频故障、真空问题等故障
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标题：真空等离子清洗机RF故障等常见故障分析及其解决办法
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